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全自動(dòng)晶片倒角設備

原廠(chǎng)品牌:

原廠(chǎng)介紹:

株式會(huì )社雄飛位于日本東京都,從Si基板的倒角技術(shù)開(kāi)始,到專(zhuān)攻化合物半導體基板,約有50年的制造及銷(xiāo)售經(jīng)驗,累積生產(chǎn)臺數超過(guò)1000臺。在日本具有最大的綜合占有率,Si,LT,LN,藍寶石行業(yè)都具有最強的市占率。同時(shí)在第三代半導體及第四代半導體,都保持著(zhù)最高的技術(shù)及市場(chǎng)布局。接下來(lái)的幾年內,會(huì )慢慢轉向OEM模式,同時(shí)也在布局國產(chǎn)化的推進(jìn)。

產(chǎn)品圖片:

產(chǎn)品型號比較:

產(chǎn)品介紹:

日本進(jìn)口倒角設備,可對應2寸→8寸 Flat和Notch型加工的晶圓倒角需求。

是專(zhuān)門(mén)對應化合物半導體材料倒角的設備。

  Ga2O3、 SiC、 GaN、 GaAs、 InP、 LT/LN、  Sapphire

設備核心優(yōu)勢:

1. 定心(中心)精度高、定位準確

定心:通過(guò)在內部設計的傳送臂上將晶片固定在研磨臺上的三個(gè)點(diǎn)上,并被單獨驅動(dòng)以實(shí)現精確的定心。磨削后的加工精度顯著(zhù)提高,精度在±30μm以?xún)?,使?/span>定位邊和缺口定位更加準確。通過(guò)提高定心精度,可以減少晶圓外圍的磨削量,延長(cháng)砂輪的使用壽命,晶片的真圓度更好。

定位:光纖傳感器用于測量晶圓外圍的光學(xué)分辨,定位邊部分的檢測大約為1000點(diǎn)/1°,精度在±0.03°以?xún)?。晶體定向的精度提高,使其成為如氧化物和化合物等重要的晶體定向中最理想的晶圓加工。

2. 耗材使用壽命提升

由于定心定位精度極高,因此可以通過(guò)適當的磨削量進(jìn)行加工。不需要額外的研磨。因此,金剛磨石的磨損量小。提高了磨石使用壽命,并最大限度地減少了磨石更換的停機時(shí)間。

3. 2軸獨立控制(1軸獨立加工也可以對應)

與 1 軸控制相比,成功實(shí)現了高生產(chǎn)率。與傳統類(lèi)型 (YH-2401) 相比加工效率提高20%,產(chǎn)量大大增加。

4. 可應對碳化硅、藍寶石等高硬度材料加工

采用高性能、高輸出電機、高剛性機體。

即使是高硬度材料,加工部也不會(huì )抖動(dòng),可以進(jìn)行高精度的磨削!

5. 專(zhuān)注難切削材料 20+年

從20多年前就開(kāi)始著(zhù)手開(kāi)發(fā)作為高硬度材料的SiC的加工,確立了難切削材料的邊緣磨削技術(shù)。

6. 市場(chǎng)占有率高

本公司的設備在化合物半導體行業(yè)約占80%以上。(專(zhuān)注于日本市場(chǎng))

在藍寶石行業(yè)約占90%以上,SiC約占70%。(專(zhuān)注于日本市場(chǎng))

設備規格參數(YH-3602):

基板尺寸: 3寸~6寸

基板厚度: 0.25mm~2.0mm(支持定位邊或定位缺口)

加工軸: 2軸(獨立控制)

砂輪槽數:按客戶(hù)要求

砂輪形狀:外徑φ200mm內徑φ30mm(定位缺口部外徑3mm )

砂輪轉速:外周1000mm~5000m/min(逆變器控制)

磨削速度: 外周1mm~50mm/sec

             定位邊1mm~20mm/sec

※可設定各項目參數輸入

設備加工精度(YH-3602):

設備規格參數(YH-8800):

基板尺寸: 6寸~8寸

基板厚度: 0.25mm~2.0mm(支持定位邊或定位缺口)

加工軸: 2軸(獨立控制)

砂輪槽數:按客戶(hù)要求

砂輪形狀:外徑φ200mm內徑φ30mm(定位缺口部外徑3mm )

砂輪轉速:外周1000mm~5000m/min(逆變器控制)

磨削速度: 外周1mm~50mm/sec

             定位邊1mm~20mm/sec

※可設定各項目參數輸入

設備加工精度(YH-8800):

設備各部件精度:

Ø磨削臺y軸:1μm (分辨率) ⇒ 脈沖電機+滾珠螺桿

Ø磨削臺面抖動(dòng):≦15μm ⇒ θ,y,z軸可調

Ø砂輪x軸精度: 1um (分辨率) ⇒ 脈沖電機+滾珠螺桿

Ø磨削臺回轉精度: 0.001(分辨率)  ⇒ NSK中空軸兆電機

Ø定心精度:≦±30um ⇒ 機械式+光纖傳感器

產(chǎn)能(YH-8800):

φ8”:約240秒/片

占地面積及重量尺寸:

尺寸:2,400mm(W )×1,680mm(D )×1,995mm(H )

重量:約2,000kg

 

設備運行視頻:

 

有任何相關(guān)問(wèn)題請咨詢(xún):022-28219577