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鉭罩是什么,有什么作用
鉭罩是碳化硅晶體生長(cháng)爐的關(guān)鍵部件,在PVT法、Gas法等晶體生長(cháng)爐長(cháng)晶時(shí)起到關(guān)鍵作用。
在使用中可以有效提高晶體質(zhì)量,減少晶體不良率,防止設備內部污染。
鉭罩為定制產(chǎn)品,可根據所提供的圖紙設計不同貼合爐子形狀的產(chǎn)品以便使用,定制的鉭罩尺寸可以有效貼合設備內壁,避免對內壁造成污染,免于清理原料殘留物.