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氧化鎵襯底和外延片的常規晶向、摻雜、尺寸以及切割介紹
氧化鎵襯底片：
1. 001向Sn、UID；10mm×15mm、2inch、4inch。
2. -201向Sn、UID；10mm×15mm、2inch。
3. 010向Sn、UID；10mm×15mm。
氧化鎵外延片：
HVPE Epi和MBE Epi兩種
氧化鎵片切割尺寸和方式：
可切割為5mm×5mm,10mm×10mm,5mm×10mm,5mm×7.5mm等
切割方式為刀片式切割
